DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。
DS300質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢
• 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，*符合SEMI標準要求。
DS300質(zhì)量流量控制器技術參數(shù)
DS300C | |
型號 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規(guī)格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
準確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
響應時間 | ≤ 0.5sec |
進口壓力 | 240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
溫度系數(shù) | 零點：≤±0.02% F.S./℃； |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
大工作壓力 | 0.45MPa |
工作環(huán)境溫度 | （10～45）℃ |
輸入信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
輸出信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) |
表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭； |
重量 | 1.2Kg |
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