D07-60G氣體流量控制器重復(fù)性好、快響應(yīng)型 、超大流量型
D07-60G氣體流量控制器簡介：
★重復(fù)性好、快響應(yīng)型 、超大流量型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
D07-60G氣體流量控制器參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | D07-60G |
| 產(chǎn)品類型 | 大流量型 |
| 流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±2％F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤10sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號(hào) | (1~5)VDC,(4~20)mA |
| 電源 | 24V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數(shù) | - 無 - |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm） |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/2”(滿量程≤1000slm),雙卡套Φ10(滿量程=300slm) |
| 表面化學(xué)成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 6Kg |
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