國產氣體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
國產氣體質量流量控制器產品簡介：
★高精度，快響應型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標準機械接頭
★兼容
北京氣體質量流量控制器用途：
用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
國產氣體質量流量控制器詳細參數(shù)：
| 產品型號 | D07-19C |
| 產品類型 | 高精度型,快響應型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
| 產品精度 | ±1％F.S.(20slm ±2％F.S.) |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
| 響應時間 | ≤1.5sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | - 無 - |
| 溫度系數(shù) | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
| 表面化學成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |
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