氣體質(zhì)量流量計行業(yè)發(fā)展情況

　　氣體質(zhì)量流量計是基于熱擴散原理而設(shè)計的流量儀表。即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當(dāng)流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

　　*、氣體質(zhì)量流量計行業(yè)發(fā)展

　　1.熱式氣體質(zhì)量流量計以及應(yīng)用行業(yè)

　　本類儀表適用于測量小流量微小口徑的清潔氣體，應(yīng)用于精細(xì)制造工藝和微小流量采樣控制等。 半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用半導(dǎo)體工業(yè)曾是熱式質(zhì)量流量計主要服務(wù)對象，熱式質(zhì)量流量計是應(yīng)承半導(dǎo)體業(yè)需求的推動而得到蓬勃發(fā)展，應(yīng)用于擴散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射等工藝設(shè)備中，測量和控制超凈氣體或腐蝕/有害氣體流量，如氫、氨、氟化氫、三氟化氮、氧化氮、砷化三氫、磷化氫。

　　2.熱消散效應(yīng)侵入式熱式氣體質(zhì)量流量計，該類儀表應(yīng)用于較大管徑，除測量潔凈氣體外還可測量存在一些塵粒的粗放氣體，如煙道氣等。

　　a.取暖通風(fēng)空調(diào)業(yè) 在國外暖通業(yè)也是熱式氣體流量計的主要服務(wù)對象，包括有無流通的監(jiān)控和通風(fēng)量的測量控制。

　　b.公用事業(yè)給水和污水治理應(yīng)用于給水工業(yè)的原水水處理殺菌凈化過程中氯氣、臭氧和氨氣等流量測量和控制;污水治理;曝氣凈化過程中空氣和處理過程中產(chǎn)生氣體的測量控制。

　　c.能源工業(yè)應(yīng)用于測量天然氣、鍋爐通風(fēng)鼓風(fēng)空氣、儲罐管線排氣等。在煤粉/空氣配比過程中，測量和控制空氣流量。

　　d.氣體連續(xù)排放監(jiān)控環(huán)境保護要求控制鍋爐燃燒煙道氣中S02和NO的排放總量，由流量儀表和分析儀器等組成CEM系統(tǒng)進行測量。

　　第三、氣體質(zhì)量流量計市場潛力大

　　氣體質(zhì)量流量計應(yīng)用于氣體的測量是呈現(xiàn)較快增長的重要因素。在技術(shù)上認(rèn)可氣體質(zhì)量流量計儀表適用于氣體的生產(chǎn)、測量、輸送、倉儲、分配和zui終用戶消費的測量，開創(chuàng)出一個新的市場空間。從壓縮天然氣壓縮站到零售路邊加氣的發(fā)送系統(tǒng)每一個測量點，用直接測量質(zhì)量流量的在測量技術(shù)上的優(yōu)點超過其他流量儀表，從而使這一領(lǐng)域的用量驟增。