質(zhì)量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時自動控制總流量?？蛻裟芨鶕?jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說，這種質(zhì)量流量計僅用作流量測量或監(jiān)測。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對）。傳感器受熱橋測得的總流量訊號送至放大器調(diào)大。

　　將調(diào)大后的流量檢測電壓與設(shè)置電壓進(jìn)行較為，并且調(diào)大差分信號調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥。通過通道的閉環(huán)控制流使其相等設(shè)置的總流量。分流器取決于主通道中的總流量。與本設(shè)備配置的總流量顯示儀表，具有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、電位計、外圍設(shè)備、內(nèi)部轉(zhuǎn)換和三位閥控控制開關(guān)等。當(dāng)所需調(diào)節(jié)總流量時，就所需這個控制器。比如說，相對于毛細(xì)管總流量的檢測，在恒壓下檢測總流量時，采用質(zhì)量流量計；

　　在恒壓下檢測總流量時，仍舊所需本設(shè)備。所需需注意的是，當(dāng)品質(zhì)流量控制器位于清理情況時，也能把它作為質(zhì)量流量計采用，但空氣壓力降大于普通質(zhì)量流量計。

　　控制器優(yōu)勢：

　　1、總流量的檢測和調(diào)節(jié)不因氣溫或負(fù)擔(dān)的波動而失準(zhǔn)。

　　2、檢測調(diào)節(jié)的智能化

　　3、確切地按量調(diào)節(jié)總流量

　　4、應(yīng)用范圍寬

　　控制器缺點(diǎn)：

　　1、怕粉塵

　　原因分析：只要灰塵進(jìn)人流量計，會堵塞傳感器和分流器，造成測量誤差，那時就所需在進(jìn)風(fēng)口前安裝過濾器；

　　2、怕液體和油漬進(jìn)入MFC

　　原因分析：會造成失控,只要MFC的出入口接有液體罐,則在MFC出口處提高一個單向閥，以防液體回流；

　　3、怕采用潮濕的腐蝕性氣體

　　原因分析：濕腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹，受損MFC通道，為此在采用腐蝕性氣體之前，所需對氣體和MFC管道程序進(jìn)行干燥；

　　4、怕在采用強(qiáng)腐蝕性、易燃易爆、含毒等危害性氣體

　　原因分析：將會引起設(shè)備受損或引起更嚴(yán)重的虧損。