電磁調(diào)節(jié)閥(Electromagnetic valve)是用電磁控制的工業(yè)設(shè)備，用在工業(yè)控制系統(tǒng)中調(diào)整介質(zhì)的方向、流量、速度和其他參數(shù)。作為流體控制自動(dòng)化系統(tǒng)的執(zhí)行器，由于有著簡單、動(dòng)作快、易于維護(hù)等特點(diǎn)，已經(jīng)成為流體控制自動(dòng)化的*選產(chǎn)品。

2. 電磁調(diào)節(jié)閥原理

　　電磁調(diào)節(jié)閥是由電磁線圈和磁芯組成，是包含一個(gè)或幾個(gè)孔的閥體。當(dāng)線圈通電或斷開時(shí)，磁芯的運(yùn)轉(zhuǎn)將導(dǎo)致流體通過閥體或被切斷，以達(dá)到改變流體方向的目的。

　　通電時(shí)，電磁線圈產(chǎn)生電磁力把關(guān)閉件從閥座上提起，閥門打開;斷電時(shí)，電磁力消失，彈簧把關(guān)閉件壓在閥座上，閥門關(guān)閉。下圖為電磁調(diào)節(jié)閥通電和斷電兩種狀態(tài)下氣體流通情況的示意圖。

圖1 電磁調(diào)節(jié)閥通斷電狀態(tài)工作示意圖

3. 電磁調(diào)節(jié)閥在氣體質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用

　　流量控制在很多行業(yè)均有大規(guī)模應(yīng)用，如何*確的對(duì)氣體流量進(jìn)行控制，是產(chǎn)品研發(fā)的核心技術(shù)。

　　電磁調(diào)節(jié)閥是通過控制輸入電壓來控制閥口的開啟量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)流量大小的控制。當(dāng)利用電磁調(diào)節(jié)閥來控制流量時(shí)，易于實(shí)現(xiàn)流量控制的自動(dòng)化，因此它被廣泛用于質(zhì)量流量控制器上。

　　電磁調(diào)節(jié)閥在流量控制器上的工作原理，如圖2所示。

圖2 流量控制器的原理圖

　　通過閥口的實(shí)際流量可由流量傳感器測得，流量傳感器輸出的流量信號(hào)，經(jīng)過放大器放大后，可在顯示儀上顯示出來。當(dāng)選擇閥控的工作狀態(tài)時(shí)，輸入流量的設(shè)定值，該值與流量傳感器輸出的放大信號(hào)作比較后，經(jīng)過PID運(yùn)算，給電磁調(diào)節(jié)閥輸入一個(gè)合適的電壓，讓閥口打開到合適量，使通過閥口的流量與設(shè)定的流量值一致。只有合理地選擇電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)參數(shù)，才能滿足流量控制器對(duì)電磁調(diào)節(jié)閥要求的三種工作狀態(tài)：閥全開、閥關(guān)、閥控。電磁調(diào)節(jié)閥被應(yīng)用于流量控制器上，其結(jié)構(gòu)如圖3所示。

圖3 流量控制器

4. 高精度電磁調(diào)節(jié)閥的優(yōu)勢

　　普通的電磁閥只有兩種工作狀態(tài)：全開、關(guān)閉，而流量控制器上的電磁調(diào)節(jié)閥要求有三種工作狀態(tài)：閥全開、閥關(guān)、閥控制。所謂閥全開就是閥的大開啟量;閥關(guān)就是在所允許的工作壓力情況下，能夠關(guān)閉閥口;閥控就是由電磁調(diào)節(jié)閥的輸入電壓控制閥口的開啟量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的*確控制。電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖4所示。

圖4 電磁調(diào)節(jié)閥的結(jié)構(gòu)示意圖

　　該電磁調(diào)節(jié)閥主要由線包、閥芯、彈*片和閥口密封墊等組成。高精度電磁調(diào)節(jié)閥工作原理是：當(dāng)電磁調(diào)節(jié)閥沒有電壓輸入時(shí)，電磁調(diào)節(jié)閥所處的狀態(tài)如圖4中的圖(a)所示;當(dāng)給電磁調(diào)節(jié)閥輸入電壓V時(shí)，閥芯在電磁吸力的作用下向上移動(dòng)一定的位移y后,處于受力平衡的靜止?fàn)顟B(tài)，如圖4中的圖(b)所示;隨著電磁調(diào)節(jié)閥輸入電壓V的增大，閥芯向上移動(dòng)的位移y也將增大。以此來實(shí)現(xiàn)，氣體流量的精度控制。

　　相比普通的電磁閥，質(zhì)量流量控制器使用的電磁調(diào)節(jié)閥，其設(shè)計(jì)的閥控模式，可以實(shí)現(xiàn)氣體高精度控制。同時(shí)，隨著半導(dǎo)體行業(yè)逐步向28-技術(shù)時(shí)代發(fā)展，對(duì)質(zhì)量流量控制器的精度要求越來越高，而高精度電磁調(diào)節(jié)閥是影響流量控制器精度的核心部件，因此，高精度電磁調(diào)節(jié)閥的研制是科技發(fā)展的需要，是市場的需要。

5. 高精度電磁調(diào)節(jié)閥技術(shù)的行業(yè)應(yīng)用

　　電磁調(diào)節(jié)閥由于結(jié)構(gòu)簡單，可控制范圍寬等優(yōu)點(diǎn)可以廣泛的在流量控制領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，相對(duì)于其他控制技術(shù)，技術(shù)可靠性高，成本低，對(duì)于各種介質(zhì)都有良好的適應(yīng)能力，在光伏太陽能、燃料電池等多個(gè)行業(yè)均由良好的應(yīng)用。